新型CVD法制備硅碳復合負極材料,其性能不僅取決于原料的選擇與優化,沉積設備的關鍵作用同樣不容忽視。沉積設備的核心參數(如溫度場均勻性、氣流分布特性、壓力控制精度等)直接影響材料沉積的均勻性、重復性及工藝安全性。此外,設備的[更多]
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