白色結晶或粉末，相對密度1.50，潮解性強，易溶于水，還溶于低濃度的甲醇、乙醇、碳酸酯類的有機溶劑。暴露空氣中或加熱時分解，遇水蒸氣作用，放出PF5而產生白色煙霧，具有腐蝕性。